インライン膜厚分布測定装置「フィディカ（FiDiCa）」のご案内
薄膜による干渉光をイメージング分光器で測定した世界初のインライン膜厚分布測定装置のご紹介です
イメージング分光カメラ（ハイパースペクトルカメラ）により、線状領域の反射光を分光して2次元の画像として出力します。 モノクロカメラと接続することで同時に多くの点の分光データを採取できます。
- 企業：JFEテクノリサーチ株式会社
- 価格：応相談
膜厚分布測定器 - メーカー・企業と製品の一覧
膜厚分布測定器の製品一覧
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全面膜厚分布測定装置 『Full Face』
膜厚測定は「点」から「面」へ。高速全面膜厚測定装置。
全面膜厚分布測定装置 Full Faceは、ウェハやガラス基板上に成膜された膜厚を基板全面一括で高速に測定を行う装置です。定点測定では見落としがちな膜厚異常を見逃すことなく測定出来る事がメリットです。 ライン分光カメラにより、膜からの干渉光をライン幅の画素毎に測定します。 これをウェハの径全面をラインスキャンすることにより、各ポジション画素毎の膜厚を隙間なく計算が可能です。 面内最大400万点の膜厚を短時間で測定し、多層膜解析も可能です。 全面・局所測定のDualモデルや、膜の厚さによって3つのカメララインナップがあります。
- 企業：東朋テクノロジー株式会社
- 価格：応相談
