真空蒸着用、Rate/膜厚制御センサー
個体差を極力抑えた真空膜厚時の物理膜厚を検知するセンサー
ピエゾパーツの『膜厚モニタークリスタル』は、真空成膜時に使用され 物理膜厚を検知するセンサーです。 専門メーカーによる発振のばらつきを抑えたセンサーを提供しており、 5.0MHzと6.0MHzの2タイプが用意されています。 特殊品として、結晶の軸方向を特定することで水晶の温度特性や副振動を 改善し精度を向上させることが出来る「両面オリフラ加工品」や、 鏡面研磨をすることによって発振強度を高めることが出来る 「ポリッシュ加工品」があります。 【特長】 ■5.0MHzと6.0MHzの2タイプ ■両面オリフラ加工品やポリッシュ加工品あり ■より発信のバラつきを抑えたセンサー ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ピエゾパーツ株式会社
- 価格：応相談
