更新日： 集計期間:2026年07月22日～2026年08月18日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
更新日： 集計期間:2026年07月22日～2026年08月18日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
更新日： 集計期間:2026年07月22日～2026年08月18日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
1～6 件を表示 ／ 全 6 件
膜厚測定に関するアプリケーション情報を詳しく解説します
オーシャンオプティクスは、半導体、産業、医療および消費者市場の アプリケーション向けに光学的および非光学的膜厚特性を測定するための モジュラー式および完全統合型システムの両方を提供しています。 顧客は、シリコンウェーハの厚さを測定し、マスク用のフォトレジスト層を判断し、 コーティングの硬度および摩耗を試験するためのシステムを構成しています。 数量の多いOEMアプリケーション向けコンポーネントも利用できます。 これらのデバイスは、真空紫外から赤外までをカバーし、分光技術を 幅広いアプリケーションに役立てるレベルの精度と再現性を実現します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オーシャンオプティクス社分光器を使用した安価・簡易膜厚測定システム！
SKOP (Starter Kit for Optical thickness measurement) 光学式膜厚測定システムは、 光学薄膜の分光反射率を測定し、そのスペクトルを解析することで薄膜の厚みを測定するシステムです。 基板上の薄膜はエタロンとして作用し、反射スペクトルに干渉パターンを引き起こします。 パターンの正弦波ピークの間隔は、材質の屈折率と膜の厚みに相関があります。 SKOPでは干渉パターンを専用のソフトウェアで解析することにより、膜の厚みに換算します。
分光器、光源やステージなどオプション豊富で、小型・軽量・安価なシステム
『FilmSmart』は、膜厚、屈折率n/減衰係数k、透過/反射率、色すべてを 測定できるHMTEK社（台湾）の膜厚測定システムです。 CCD分光器、光源、ステージ、ファイバ集光系、パソコン、ソフトウェア一体型で、 面倒な作業・設定は一切必要なく、簡単に表面・薄膜測定できます。 【特長】 ■測定範囲：200A～400,000A ■波長範囲：380-850nm ■屈折率n・減衰係数k、透過・反射・色測定も可能 ■小型・軽量付属ソフトで簡単測定 ■自動XYステージ：2次元、3次元描画（オプション） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能な非接触膜厚測定システム！
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、FFT（高速フーリエ 変換）等によって膜厚値の解析を行う非接触膜厚測定システムです。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能ですので、 インライン膜厚測定としてもご使用頂けます。 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーションが可能！
『GS-300』は、小フットプリント仕様のロードポート対応膜厚測定 システムです。 φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応。 ウェーハに埋め込んだ配線パターンアライメントを実現します。 また、半導体プロセスの高スループット要求に対応しております。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応 ■ウェーハに埋め込んだ配線パターンアライメントを実現 ■半導体プロセスの高スループット要求に対応 ■小フットプリント仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能な非接触膜厚測定システム！
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、FFT（高速フーリエ 変換）等によって膜厚値の解析を行う非接触膜厚測定システムです。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能ですので、 インライン膜厚測定としてもご使用頂けます。 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
