枚葉自動スピン剥離装置
本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能
カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。
- Company:株式会社カナメックス 厚木工場
- Price:応相談
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本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能
カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。