原子層蒸着(ALD)用バルブ ALD20
さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー
Swagelok 原子層蒸着(ALD)用バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現します。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20」を製品ラインアップに追加しました。ALD（原子層蒸着）用途での性能を最適にするため、 アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。 【特長】 非常に優れたサイクル・ライフを実現 高速の開閉機能 （オープン／クローズに要する時間は5ミリ秒未満） 高温下でも安定した流量と再現性を実現 膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート 流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン ＜3つの課題に 超高純度用 ALD20バルブ＞ 1. 大流量：既存ALDバルブのほぼ3倍にあたる最大1.7Cvの流量係数を実現（当社比） 2. 高温：アクチュエーター部分を含め、バルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することが可能 3. 高性能：耐食性に優れているため、腐食性の高い流体も使用可能
- 企業：スウェージロック・ジャパン
- 価格：応相談
