薄膜X線回折装置 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

薄膜X線回折(XRD)

In-Plane XRDによる薄膜の結晶性評価や、XRRによる薄膜の物性測定が可能！

当社で行う「薄膜X線回折(XRD)」についてご紹介します。 数nmレベルの薄膜の結晶構造同定に加え、X線反射率測定による 多層膜の膜密度・膜厚・粗さの解析も可能。 平行性の良いX線を試料に極浅い角度で入射させることで、X線の 侵入深さを極めて浅くすることができ、In-Plane XRDによる薄膜の 結晶性評価や、XRRによる薄膜の物性測定ができます。 【特長】 ■In-Plane XRD(面内回転測定) 　数nmレベルの結晶性薄膜の評価 ■XRR(X線反射率測定) 　膜密度・膜厚・(表面・界面)粗さの評価 ■一般的な薄膜法(θ固定2θ走査)も対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。