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【薄膜パターニング加工】豊富な加工・検査設備を一覧でご紹介！
当資料では、弊社が得意とする「薄膜パターニング加工」関連の保有設備について掲載しております。 ”物作りへのこだわり”を大切にし、お客様へ価値あるQ（品質）、C（コスト）、D（納期）、S（サービス）を提供し、社会に貢献する弊社の設備一覧をご覧ください。 【保有設備(抜粋)】 ■洗浄工程 ・バッチ式洗浄装置 ・枚葉式洗浄装置 ■成膜工程 ・スパッタ成膜機 ■フォトリソ工程（塗布/レジスト、露光、現像） ・ロールコーター ・スピンコーター ・バーコーター ・スクリーン印刷 ・露光機 ・枚葉式 ・バッチ槽 ■エッチング工程（ウエットエッチング、剥離/レジスト） ・枚葉式（ITO） ・シャワー式（Cu,Al,Cr） ・バッチ槽 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
メタルマスクによりパターン成膜が可能です。
単にパターニング加工といっても色々あります。 半導体（LSI，センサー等）などで用いられる極微細なパターン（ナノレベルのもの）から、数百ミクロンレベルのガラス基板などに引き廻す配線、センチレベルの特定部位のみ薄膜施工するものまで、必要な部位にのみ薄膜を施工することで、求める機能を発現させることが可能となります。 東邦化研では、Metal Maskや施工後のエッチング等によりお客様の求める特定部位への薄膜施工を行っております。お求めの薄膜の種類や施工する基材の種類、パターニング形状や施工部位形状等によりMaskingする手法をご提案させていただいております。一度ご相談ください。なおご相談の際は、具体的な寸法や図面などがあると、よりスムーズにお話ができるかと思います。また、これからお考えになるような場合でもお気軽にご相談いただければと思います。
