【試験事例】TiO2光学薄膜の超精密膜質分析
多角アルミナ粒子/球形シリカ粒子の試験結果を詳しく解説
光学薄膜を多角アルミナ粒子と球形シリカ粒子の2種類の粒子で 試験を行うことにより、今まで以上に超精密な膜質の分析が可能となった 事例をご紹介します。 多角アルミナ粒子をエロージョン率（損傷速度）分布グラフでみた結果、 「衝突時の荷重、接触面積ともに極めて小さいため力が集中する」 といった試験結果が得られました。 【事例概要】 ■目的 ・僅かな膜質の差を、2種類の試験条件を用いて浮き彫りにする ■試験結果（球形シリカ粒子） ・低硬度 微子球粒子を使用 ・衝突時荷重が大きいが、接触面積も大きいため力が分散される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社パルメソ
- 価格：応相談
