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薄膜封止装置 - 企業1社の製品一覧

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薄膜封止装置

無機層と高分子層を積層することで、デバイスやプラスチックフィルムに高いガスバリア性と曲げ、引張に対する耐性を付与します。

本装置は韓国SNU社が米国Vitex Systems Inc.の薄膜封止技術をライセンシングし、製作している薄膜封止装置です。

  • コーター
  • 蒸着装置
  • その他半導体製造装置

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