薄膜評価装置『分光エリプソメーター』
【デモ可能】化合物半導体材料の組成比の評価も可能！非接触・非破壊でエピ膜を含む薄膜の膜厚値を精度良く測定
『分光エリプソメーター』は、非接触・非破壊でエピ膜を含む薄膜の膜厚値、 屈折率、消衰係数を精度良く測定する薄膜評価装置です。 化合物半導体材料の組成比の評価も可能。 主な評価・測定項目は、“薄膜の膜厚値”、“エピ膜厚値”、“屈折率”、 “消衰係数”、“化合物半導体の組成比”、“ドーパント濃度”です。 【主な評価・測定項目】 ■薄膜の膜厚値 ■エピ膜厚値 ■屈折率、消衰係数 ■化合物半導体の組成比 ■ドーパント濃度 装置の仕様や価格については、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※デモの実施も可能です。ご希望の方は、下記お問い合わせボタンより”デモ希望”と記載ください。
- Company：日本セミラボ株式会社 新横浜本社
- Price：応相談
