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薬液流量コントローラ(制御) - 企業1社の製品一覧

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マクミラン 小型薬液流量コントローラ U803/U804

U803/U804シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは7?50mL/minから用意されています。

U803/U804シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは7?50mL/minから最大レンジは100?1000mL/minまで5種類用意されています。ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)と比例制御バルブの組み合わせにより優れた再現性と長期にわたり正確な流量コントロールが可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。継手接続はフレアー継手を採用リークの心配がありません。 電気ケーブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択できるので、各種用途に利用しやすくなっています。

  • その他半導体製造装置
  • 加工受託
  • ウエハ加工/研磨装置

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