3Dプロフィロメーター技術資料 透明基板上の透明フィルム測定
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透明基板上にコーティングされた、透明薄膜材料の「厚さ」と「表面粗さ」の両方を単一の機器で測定できれば、開発と品 質管理の両方において非常に便利です。従来のスタイラスベースの接触式表面形状計では柔らかいフィルムを正確に測定す ることが難しいため、これは困難であることがわかります。一方、他の光学技術では、透明基板上の透明な薄膜を測定する のは困難です。この薄膜の厚さを測定できる機器は他にもありますが、粗さを測定する機能はありません。
- 企業:アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社
- 価格:応相談