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簡単操作、非接触、迅速、高分解能、低価格のナノ表面粗さ、段差形状測定装置。防振台不要でラインでの全数検査も可能。
光ヘテロダイン干渉計測を利用したコンパクトで、振動に強く、高さ分解能が０．１ナノと高精度な測定を提供する表面粗さ・形状測定システム。 計測時間も大幅に短縮でき、防振台不要でラインでの全数検査もできる。 広範囲の計測が可能で多点計測や大型試料にも適用可能。 ＜主な特長＞ １）低価格で計測時間の大幅短縮 ２）高分解能 高さ方向０．１ナノでAFMと互換性保持 ３）試料対象物への前処理や真空不要の簡単計測で防振台も不要 ４）広範囲計測可能 ５）光ヘテロダイン干渉計測で外部からの振動を相殺 等
様々な表面で、高速かつ広範囲な非接触/非破壊測定を実現
SOLARIUS VIKING（ソラリウス・バイキング）は、小型で軽量な光学式3D表面粗さ・形状測定機です。 センサーを使用した測定により、顕微鏡とは異なる測定アプローチが可能です。 ウェーハ、リチウムイオン電池セパレーターなど、表面が薄く柔らかで傷がつきやすい素材の表面粗さ測定や厚さ測定に課題をお持ちのお客様にも好適です。 先端センサー技術を使用し、3D表面トポグラフィーマップおよび国際規格に準拠した測定結果を迅速に提供します。 また、コンパクトな設計で省スペースを実現。容易なセットアップと高い操作性により、3D光学検査プロセスをすばやく設定でき、作業者の負担軽減に寄与。短時間でより多くの測定が可能になります。 【このような課題をお持ちのお客様に好適です】 - 目視作業やマニュアル測定を改善したい - 誰にでも使いやすい機器がほしい - 機械的位置合わせ（傾斜またはずれ） - 測定の詳細把握やデータ管理をしたい - カスタマイズが必要な特別なアプリケーションを探している ＊サンプル測定のご相談も承っております。お気軽にお問い合わせください。
光学式なのに「垂直焦点」でナノスケールの「実測」を可能に。
■高速連続スキャン ■光学プロファイラー ■実測（ステッチングなし）■サンプル簡単準備 表面特性評価用のリアルナノ3Dプロフィロメーター ナノビア社のリアルナノ3D表面検査装置は、「粗さ測定」「テクスチャ分析」「段差・高さ評価」のための高精度の表面特性評価を提供します。高度なクロマティックライト技術を使用した非接触プロファイロメーターは、「コーティング」「半導体」「医療機器」「航空宇宙材料」など多岐にわたる再現性のある高解像度の表面計測を提供します。 １）400mm2×200mm/s 高速連続スキャン※ST500 ◎400 x 400mmのX-Y軸移動で最高速度200mm/s。 ◎384,000点/秒の比類なき超高速スキャン。 2）ナノビア社独自の新方式「多彩色光センサー測定」 ◎白色光を波長ごとに分割。 ◎光の波長を利用して物理的な高さを正確に測定。 3）ステッチ不要の垂直焦点 ステッチングなしの実測データ ◎表面から反射する物理波長を直接測定。 ◎データポイントを連続的に収集。 ４）サンプル前処理なし サンプル簡単準備 ◎鮮明画像。 ◎リフォーカスなし。
