装置フルオートスピンナ - メーカー・企業と製品の一覧

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 企業：ジャパンクリエイト株式会社
• 価格：応相談

• コーター
• その他半導体製造装置