装置大型露光装置 - 企業1社の製品一覧

露光装置　大型露光装置

露光安定性・再現性に優れています。

JEMの大型露光装置は、常に完全な均一露光を得るため積算光量計・バラスト機構・大型ドライロータリーポンプ・バキュームレギュレター等を組み込んだ最新高性能の大型露光装置です。

• 企業：日本電子精機株式会社
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置