装置安全ガイドライン - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

QSESの安全評価について　「SEMIスタンダード」

半導体製造装置設計に関する安全ガイドラインで対応範囲は多岐に渡ります。

QSESの安全評価について「SEMIスタンダード」は1978年にはじめて発売され、 半導体製造装置の設計に際しての安全ガイドラインとして、 幾度の改定を加えながら現在に至ります。 SEMIスタンダードの対応範囲は、材料、ハードウエア・ソフトウエア、設備、 ガス、プロセスケミカル、環境 健康＆安全 (EHS)等、多岐にわたり、 主にそれぞれの「仕様、ガイド、試験方法、用語、実施方法」を記載しています。 その中で半導体製造装置を出荷する際に求められるガイドラインがS2とS8で、液晶製造装置の場合は、S26とS8です。 【特長】 ■半導体、液晶製造装置の設計に際しての安全ガイドライン ■現在の最新版は、S2が2018年度版、S8も2018年度版 ■対応範囲は、材料、ハードウエア・ソフトウエア、設備、ガス、プロセスケミカル、環境 健康＆安全 (EHS)等 ■仕様、ガイド、試験方法、用語、実施方法を記載 ■半導体、液晶製造装置を出荷する際に求められる一般的なガイドライン ■警告ラベルおよびマニュアルの安全ガイドライン ※詳しくはカタログをダウンロードしてください。