装置改造＜高真空排気用ターボ分子ポンプ交換＞
仕様の違う真空ポンプに交換となりましたが、交換部品及びコストを抑える事ができた実績！
当社にて、高真空排気用ターボ分子ポンプ交換、機械及び電気の改造及び ソフト変更を実施しました。 長期使用による真空ポンプの能力低下に伴い、新規真空ポンプへの 交換の要望があり、仕様の違う真空ポンプに交換となりましたが、 交換部品及びコストを抑える事ができました。 改造後に部品起因のトラブルが発生しましたが、迅速対応し解決しましたので、 ご好評いただいております。 【製作実績の概要】 ■高真空排気用ターボ分子ポンプ交換 ■機械及び電気の改造及びソフト変更 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社シナノ精機
- 価格：応相談
