装置洗浄工程向けコーティング - メーカー・企業と製品の一覧 | イプロスものづくり

半導体製造装置 洗浄工程向けコーティング

腐食防止・金属イオン溶出防止・ウエハー傷防止。洗浄装置の課題をまとめて解決

半導体製造の洗浄工程では、各種薬液を使用するため、装置部品の腐食や金属イオンの溶出が深刻な課題となります。 フッ素樹脂コーティングを駆動部品に施すことで耐薬品性を付与し、腐食を防止。 洗浄槽への施工により金属イオンの溶出を抑え、高純度な洗浄プロセスを維持します。 さらにウエハーステージへの施工で、ウエハーの傷防止にも対応できます。 吉田SKTは、テフロン(TM)コーティングのパイオニアとして半導体分野で豊富な実績を有し、 お客様の装置仕様や薬液条件に応じたカスタマイズ対応を得意としています。 詳しくは資料をダウンロード、お問い合わせください。