装置用ラインヒータ - 企業1社の製品一覧

半導体洗浄装置用ラインヒーター

最高９０℃で利用可！ＮａＯＨ水溶液の加熱に適した循環用加熱ヒーター

本製品、PRH（Protect　High　Temp）ヒーターは、NaOH加熱時の 腐食減肉速度の上昇に伴うヒーター断線・タンクからの漏れなど、 様々な問題点の一つ一つに着目して開発されたものです。

• 企業：株式会社ダステム
• 価格：応相談

• その他ヒータ
• 加熱装置
• その他半導体製造装置