装置用測定センサ(形状測定) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

ウエハーセンス　サイバーオプティクス製　製造装置改善用測定センサ

ウエハーセンスは装置改善に好適な測定器です。客観的な測定を行い、改善効果のある数値パラメータを簡単に取得出来ます。

ウエハーセンス(WaferSense)（サイバーオプティクス（CyberOptic） 社）はプロセス装置の調整を効率良く行う便利な測定ツールです。客観的で信頼性の高いデータをベースに高精度な装置セットアップを行う事が可能です。ワイヤレスでウエハライク形状、真空中でも使えるので、誰でも簡単に再現性のある結果を提供します。ロボットティーチングを行うカメラウエハー、シャワーヘッド調整を行うギャップ測定ウエハー、さまざまな装置のレベル出しに使う水準測定ウエハー、振動用測定ウエハー、装置内部のパーティクルをモニタリングするパーティクル測定ウエハーの5種類があります。付属のソフトウェアを使って、センサーとの交信をワイヤレスに行う事が可能となり、リアルタイムなLOGデータの取得とフィードバックが出来ます。ウエハセンスを使う事で装置パラメータの標準化や比較、解析にも役立ちます。