補助ポンプ - メーカー・企業と製品の一覧

KNF ターボ分子ポンプ TMP 補助ポンプ

TMP用粗排気用ポンプ（ターボ分子ポンプ補助ポンプ）

ダイアフラム真空ポンプの特長であるオイルフリーは、オイルミストによるコンタミネーションがなく、またオイル補給も不要でメンテナンス性に優れます。 クリーンルームで使われるターボ分子ポンプなどに最適です。