PVA社製ウェーハストレスモニター
非接触にてウェハ残留応力の可視化、プロセス開発・製造時の内部ストレスモニタリングに最適
PVA MPS社（独）は、光弾性効果を用いたモニタリング装置「Scanning InfraRed Depolarization （以下SIRD）」を提供しております。 本装置は偏光されたレーザーを対象となるウェーハに照射し、ウェーハを透過する際に生じる複屈折(光弾性効果)を2つの検出器を用いて検出し、得られた結果を独自のアルゴリズムを用いて、欠陥箇所を可視化することでプロセス管理等に資することができます。
