複合型PVDコーティング装置
アークイオンの三ソースをひとつのチャンバー内に搭載！複合型イオンプレーティング装置をご提案
ISYS社 複合型PVDコーティング装置は、仕様に応じて、チャンバー寸法、ソース数等を設計します。HCD搭載アークイオンプレーティング装置では、成膜源の複合搭載（HCD【ホロカソード】＋ＡＩＰ【アークイオン】）しています。HCDでのボンバードは、イオン化率90%のArイオンで強力エッジングです。シャッター方式は、成膜源前シャッターによりドロップレットの低減をしています。独自開発のiDフィルムは、深さ方向で組成比の傾斜された膜を生成します。iDフィルム適用膜はＴｉＮ CrN ＴｉＣＮ TiCrN ＴｉＡｌＮ AlTiN ZrN TiZrN TiSiN TiAlSiNなどで、アプリケーションには、表面改質に切削工具・金型・電子部品等、また、カラーリングには意匠鋼板・携帯電話ケース・ドア等があります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社マツボー
- 価格：応相談
