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複合分子ポンプ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

複合分子ポンプの製品一覧

1~9 件を表示 / 全 9 件

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磁気軸受形複合分子ポンプ TG1300M

低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様

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超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ

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極低振動 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MLシリーズ

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)!

高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。

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耐放射線仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MRシリーズ

放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ!

放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設(J-PARC)などに納入!

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磁気軸受形複合分子ポンプ TG390M

広領域排気:低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様

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磁気軸受形複合分子ポンプ TG420M

広領域排気:低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様

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磁気軸受形複合分子ポンプ TG900M

低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様

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磁気軸受形複合分子ポンプ TG2400M

大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ

反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。

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反応生成物対応 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少!

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上!! ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。

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