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半導体製造装置メーカーより共同開発の依頼があり、OEM生産も実現！
当社は、半導体製造の洗浄工程において、スピン式洗浄方式を用いた 「精密洗浄装置」の開発及び製造を実施しました。 開発機及び量産機ともに設計から機械・電気組立及び調整、デバック、 検査、出荷、現地立ち上げを行いました。 また、必要な資料づくりや独自に検査表などの作成や検査治具の作成を行い、 量産化するためのサポートをしました。 【製作実績の概要】 ■半導体製造の洗浄工程において、スピン式洗浄方式を用いた 精密洗浄装置の開発及び製造を実施 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
装置メーカー様より、対応及び真空に関する技術が好評で、リピートをいただいた実績！
検査装置メーカーがファブレスの為、装置組立の要望があり 当社にて「真空検査装置」の設計・製造・組立を実施しました。 RF MEMSデバイスや水晶振動子MEMSデバイスなど、真空環境での 動作を必要とするMEMSデバイスの、高低温(－60℃～＋300℃) オンウェハ測定可能な真空プローバ装置です。 装置構成はステージチャンバー、プロ―ビングチャンバー、プローブ マニュピレータ、退避機構、顕微鏡カメラ、排気ユニット、ガスライン、 制御部に分かれており、各操作は操作パネルからの操作が可能です。 【製作実績の概要】 ■高低温(－60℃～＋300℃)オンウェハ測定可能な真空プローバ装置 ■各操作は操作パネルからの操作が可能 ■真空装置を得意としているので、装置構成及び真空に関する 設計から組立まで可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ハーネス加工の簡素化などの提案を行い、ハーネス検査用のソフトの導入をして、量産化を実現！
半導体製造装置メーカーよりOEM生産の依頼があり、 当社にてハーネス(電気配線)加工を実施しました。 ハーネス加工の簡素化などをご提案し、またハーネス検査用のソフトの 導入をし、量産化を実現。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■量産対応300mmウェハプラズマCVD装置 ■低容量チャンバによるガス使用効率の向上 ■チャンバ間、ウェハ間での高い再現性 ■低coo ■メンテナンス性の向上 ■高い電力効率 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
低容量チャンバによるガス使用効率の向上！量産化するためのサポートも行った実績
当社は、半導体製造装置メーカーよりOEM生産の依頼があり、 機体配線を実施しました。 開発機及び量産機ともに機内配線及び機外配線を行いました。 また実体配線図等作成のための資料づくりや独自に検査表などの 作成や検査治具の作成を行い、量産化するためにサポート。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■量産対応300mmウェハプラズマCVD装置 ■低容量チャンバによるガス使用効率の向上 ■チャンバ間、ウェハ間での高い再現性 ■低coo ■メンテナンス性の向上 ■高い電力効率 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
