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半導体製造装置メーカーより共同開発の依頼があり、OEM生産も実現！
当社は、半導体製造の洗浄工程において、スピン式洗浄方式を用いた 「精密洗浄装置」の開発及び製造を実施しました。 開発機及び量産機ともに設計から機械・電気組立及び調整、デバック、 検査、出荷、現地立ち上げを行いました。 また、必要な資料づくりや独自に検査表などの作成や検査治具の作成を行い、 量産化するためのサポートをしました。 【製作実績の概要】 ■半導体製造の洗浄工程において、スピン式洗浄方式を用いた 精密洗浄装置の開発及び製造を実施 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
低容量チャンバによるガス使用効率の向上！量産化するためのサポートも行った実績
当社は、半導体製造装置メーカーよりOEM生産の依頼があり、 機体配線を実施しました。 開発機及び量産機ともに機内配線及び機外配線を行いました。 また実体配線図等作成のための資料づくりや独自に検査表などの 作成や検査治具の作成を行い、量産化するためにサポート。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【製作実績の概要】 ■量産対応300mmウェハプラズマCVD装置 ■低容量チャンバによるガス使用効率の向上 ■チャンバ間、ウェハ間での高い再現性 ■低coo ■メンテナンス性の向上 ■高い電力効率 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
