超純水水質監視装置 - メーカー・企業と業務用製品

【半導体向け】超純水の水質監視装置

半導体製造における超純水システムの品質管理に最適

半導体業界では、製造プロセスにおける超純水（UPW）の品質管理が、製品の歩留まりと品質を左右する重要な要素です。特に、微量のTOC（全有機炭素）やホウ素の混入は、半導体デバイスの性能に悪影響を及ぼす可能性があります。当社の水質監視装置は、これらの微量成分を高精度で連続的に監視し、UPWシステムの品質を維持します。【活用シーン】・半導体製造工場のUPWシステム・原水、RO水、回収水、UF/EDI、ユースポイントなど、各工程【導入の効果】・UPWの品質を安定化し、歩留まり向上に貢献・TOCやホウ素による製品不良のリスクを低減・製造プロセスの効率化とコスト削減