ドライクリーナ UVU-F型フラットパネル用超音波ドライクリーナ
ミクロの限界を超えた除塵能力
UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure / Vacuum /Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用(特許取得)したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。
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ミクロの限界を超えた除塵能力
UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure / Vacuum /Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用(特許取得)したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。