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超音波モータのメリット・用途例などQ&A形式でわかりやすく解説！
「よくわかる超音波モータ」はセラミックのニッコーが超音波モータに関する基本的な疑問について解説した資料です。小型・精密位置決め可能、などの特長を持つ超音波モータに関して、わかりやすく解説しています！ 【掲載内容】 ■超音波モータの特長 ■電磁モータに比べて超音波モータのメリット ■超音波モータの用途例 ■よくご質問いただく物性値…など ●資料をご希望の方は、関連リンク-弊社コーポレートサイトよりお問い合わせください●
32Nの駆動力で最高高速500mm/sec！消費電力は従来製品の半分に
『SE モータ』は、ナノモーション社における計測、半導体、光学、防衛の 分野での超音波モータ（ピエゾモータ）の豊富な経験を基に、製品ラインを拡充します。 高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現するため、 より効率的な駆動コアを組み込んだ、拡張モータ構造に基づき設計されました。 ナノモーション社の既存「HR モータ」と比較して、当製品は2倍の速度と 同じ駆動力を提供し、消費電力は半分になります。 【特長】 ■高真空アプリケーション ■サブナノメートルの位置決め精度 ■優れたエネルギー変換効率 ■幅広い動的な速度範囲 ■ゼロバックラッシュと高い剛性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ロボットや磁場環境用装置に！小型・高トルク・電力ゼロで姿勢保持・磁場環境で利用可能。軽点数や位置制御性などでの比較表も掲載中。
『超音波モータ総合カタログ』は、磁石やコイルを利用せず、圧電セラミックを 振動させ、そのエネルギーを駆動力としている超音波モータの総合カタログです。 小型・静音でありながら、高トルクで精密な位置決めが可能な製品を 多数掲載。 タイマーによる間欠動作用モータとして好適な「PSM60S-A」をはじめ、 磁場環境センサレス片軸モータの「PSM60N-A」などをラインアップしています。 【掲載内容（抜粋）】 ■超音波モータとは ■他方式のモータとの比較 ■一般環境用モータ（PSM60S SERIES） ■磁場環境用モータ（PSM60N SERIES） など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ
Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。 また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 国内メーカーで多数使用されている超音波モータ
