超高真空エバポレーター UEシリーズ
コンパクトな多元蒸着源
超高真空中で試料表面に微量の金属または有機物を蒸着できる多元蒸着源です。オプションでシャッターや膜厚測定機能を追加できます。 <特長> ・コンパクトかつコストパフォーマンスに優れたルツボ式3元または4元蒸着源 ・多元高温用エバポレーター (温度範囲700°C～1700°C）UE-103C/104Cシリーズと多元エバポレーター (温度範囲150°C～800°C) UE-203C/204Cシリーズの2機種をラインナップ ・シャッター追加、膜厚測定機能 (オプション) <用途> 超高真空中でターゲット試料表面へ微量な金属または有機物の蒸着
- 企業：株式会社ユニソク
- 価格：応相談
