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軸ステージ(測定) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

軸ステージ Product List

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Z軸ステージ（半導体検査／0.035µm補正）高精度フォーカスに

Z軸ステージ（半導体検査／0.035µm補正）高精度フォーカスに

光学測定・半導体検査向け。高剛性Z軸制御で高倍率観察時の焦点ズレを低減

V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。

  • その他機械要素
  • ソレノイド・アクチュエータ
  • エンコーダー
  • 軸ステージ

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Ｚ軸ステージ

Ｚ軸ステージ

ＺＡ－３００Ｌは、垂直テーブル面を縦方向に移動する大型ステージです。

駆動方式はネジ送り式（ピッチ２ｍｍ）で上部ハンドルを回転させて移動させる粗動型ステージです。移動量は２２３ｍｍとなります。本体は□５０ｍｍピッチ・□５０．８ｍｍ（２インチ）ピッチの光学定盤へ接続が可能です。テーブル面にはポール・アングル部品の接続が可能です。

  • その他理化学機器
  • 軸ステージ

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