SEMI S14：火災リスクアセスメントと軽減の安全ガイドライン
半導体製造装置に対する火災リスクアセスメントと軽減のための安全ガイドライン
『SEMI S14』は、装置及び製品に対する火災および燃焼副生成物のリスクを アセスメント、軽減する上で助けとなる検討事項を提供します。 資産の保護に適用し、人間の保護には適用しません。 「SEMI S10」リスクアセスメントにおいて、装置の火災リスクアセスメントは 「SEMI S14」に譲っています。一方、リスクの見積りの手法は、SEMI S10の 方法を用いることが推奨されています。 大前提として、火災の3要素として燃料、酸化剤、発火源をあげています。 これら3要素のうち1つ以上を除去すれば、火災リスクは除去できます。 燃料、酸化剤、発火源について、リスクアセスメントを実施する上で 考慮すべき事項につき詳細に記述をしています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社キューセス
- 価格：応相談
