近赤外対物レンズ『PE lR Plan対物シリーズ』
ウェハーの裏面観察などに最適！長作動距離、高解像対物レンズです
『PE lR Plan対物シリーズ』は、近赤外域の分光透過率を高く設計した 長作動距離、高解像対物レンズです。 シリコンを透過してウェハーの裏面観察をしたり、フォトエミッション 故障解析用レンズとして使用できます。 当社の顕微鏡「PS-888L」に取り付け、YAGレーザと併用することで レーザーリペアなどにもご使用いただけます。 ※LCDガラス補正・シリコン補正に対応可能ですので、ご相談ください。 【特長】 ■フォトエミッション用レンズ ■長作動距離・高解像対物レンズ ■レザーリペアなどにも使用可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
