送液シリンジポンプ(薬液) - メーカー・企業と業務用製品

【半導体製造装置向け】低脈動で精密な送液ができるシリンジポンプ

半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア

微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 送液速度：17nl/分～2.4L/分　（エンコーダーによりポンプからの実際の吐出容量をモニタリング）フローコントローラーの調整に頼らず、実際の容量で確実な送液【活用シーン】・スピンコート・スプレイコート・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加・洗浄・エッチング工程での薬液調合・自動滴定調整・自動希釈・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理・パッケージング工程など