低速質量選別イオンビーム照射システム『OMS-1940』
優れたメンテナンス性、耐腐食性、安定性を獲得！長時間に亘る実験に有効です
『OMS-1940』は、前モデルから80％に上る部品を新設計とし、 特に数eV～100eVという超低速において、比較的大電流の各種イオンを 照射可能な低速質量選別イオンビーム照射システムです。 イオン源部は組立式のセラミック放電管の為、優れたメンテナンス性、 耐腐食性、安定性を獲得しており、長時間に亘る実験に有効です。 また、Ar、酸素、窒素、水素、Heはもちろん、BCL3ガスをも安定的に 放電することが可能になっており、イオン源部品とガス導入系の交換により さまざまなイオンを発生することが可能です。 【特長】 ■比較的大電流の各種イオンを照射可能 ■イオン源部は組立式のセラミック放電管 ■オリフィスを交換することで、分解能1amuの質量分離が可能 ■ニュートラルや電子の低減に効果的な設計 ■超低速域においてもビームの収束性が良く、高効率 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社オメガトロン
- 価格：応相談
