細配管加熱ヒーター
200℃以上の加熱が可能です
ALD、CVD、PVD等の薄膜装置向け細配管加熱ヒーター、排気配管加熱ヒーター、200℃以上可能なヒーターをご提供。 縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させたガラスクロス等で構成されたヒーターです。
- 企業:ラックデザイン株式会社
- 価格:応相談
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200℃以上の加熱が可能です
ALD、CVD、PVD等の薄膜装置向け細配管加熱ヒーター、排気配管加熱ヒーター、200℃以上可能なヒーターをご提供。 縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させたガラスクロス等で構成されたヒーターです。
配管に流れる気体・液体を加熱・保温する、あるいは真空チャンバーを加熱するヒーターです。
半導体製造装置メーカー、海外の半導体製造工場においては、半導体製造装置のガス配管中のガス寝込み(周囲温度が低いときにガスが液化する現象)防止用としてガス配管に取付けて使用する加温用ヒータです。
簡易取付構造、脱着容易、作業効率向上!幅広い加熱用途にご使用可能です
「配管加熱ヒーター/ジャケットヒーター」は、液晶パネル、半導体、 太陽電池などの生産工程において、配管内部の凝縮・固化を 防止するために使用される製品です。 配管の種類や使用条件、設置環境に応じて、シリコーンジャケット ヒーターとPTFEジャケットヒーターの2タイプをご用意。 高い耐熱性や絶縁性を持ち、安全にご使用いただけます。 また、高い柔軟性と密着性により、複雑な配管形状にも 対応可能です。 【特長】 ■高い柔軟性と密着性により、複雑な配管形状にも対応可能 ■簡易取付構造、脱着容易、作業効率向上 ■高い耐熱性・絶縁性を持ち、安全に使用可能 ■難燃性を有する構造設計により、安全性と信頼性を両立 ■CE/SEMI S2認証取得 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。