量産工程露光装置 - 企業1社の製品一覧

量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』

サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております

当社が取り扱う量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』を ご紹介します。 シンプル構造で低価格を実現。 〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております。 4inサイズの「ALA410」と、8inサイズの「ALA810」をご用意しています。 【特長】 ■高い汎用性（〇型□型試料対応） ■信頼性の高い球面軸受 平行機構 ■シンプル構造で低価格を実現 ■Φ4in、Φ6in、Φ8in仕様 ■CToC自動搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 企業：株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置