陽極接合装置

バッチ処理で低露点化が得られます。大気中または真空中で高精度アライメントができます。接合雰囲気の条件変更が容易です。必要部分のみ加熱を行うので、歪みが少なく接合できます。ロッド間のばらつきがなく、歩留まりが良好です。操作が自動なので省力化が計れます。

Company：アユミ工業株式会社
Price：応相談

油圧機器
陽極接合装置

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『陽極接合装置』は、加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を印加して容易に接合できます。研究、開発に適したコンパクト＆エコノミータイプで、アライメント部は小型設計の卓上型。試料サイズは標準で4インチ、オプションで最大6インチまで可能です。各種センサー・マイクロマシン・生体材料・各種光学用途にお使いいただけます。【特長】 ■加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を印加して容易に接合可能 ■研究、開発に適したコンパクト＆エコノミータイプ ■アライメント部は小型設計の卓上型 ■試料サイズは標準で4インチ、オプションで最大6インチまで可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。