電動ダイアフラムポンプ(薬液) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

【半導体向け】電気代最大80％削減！電動ダイアフラムポンプ

薬液供給の効率化とコスト削減を実現する電動ポンプ

半導体製造プロセスにおける薬液供給では、高純度かつ安定した供給が求められます。微細な異物混入や流量のばらつきは、製品の歩留まりに直接影響を与えるため、信頼性の高いポンプ選定が不可欠です。また、薬液の種類によっては、防爆性能や耐薬品性も重要な要素となります。当社の電動ダイアフラムポンプ『QUANTM』は、これらの要求に応え、既存のエア駆動ポンプからの置き換えにより、エネルギーコストとCO2排出量を最大80％削減しながら、安定した薬液供給を実現します。 【活用シーン】 ・高純度薬液の精密供給 ・防爆エリアでの薬液移送 ・クリーンルームでの使用 ・既存エア駆動ポンプからの置き換え 【導入の効果】 ・エネルギーコストとCO2排出量の削減 ・静音運転による快適な作業環境 ・コンプレッサーや外部インバーター不要による設備コスト削減 ・多様な防爆規格に対応