電子真空レギュレータ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

Equilibar　電子式真空レギュレーター

電子式真空レギュレーター

コンピュータによる指令信号によって真空制御を行います。指令信号はまず小型の電子レギュレータに送信され、そこからパイロット信号が生成されてドーム型Equilibar真空レギュレータ（EVR）の基準ポートに送られ、プロセス圧力を制御します。 Equilibar社は、このパイロット基準信号を提供する高精度電子圧力レギュレータのシリーズを提供しています。QPV超高分解能モデルとEPR-30Hgモデルは、ヒステリシスやデッドバンドがほとんどないため、精密な調整が可能です。 これらのレギュレータは、オープンループモードまたはクローズドループモードで使用できます。オープンループモードでは、コンピュータ信号によって真空設定値が電子パイロットレギュレータに送られ、パイロットレギュレータはその指令された圧力をEVR基準ポートに供給して、プロセス真空を設定値に非常に近い値に保ちます。オープンループモードでは、流量が増加するにつれて真空圧力にわずかな変動が生じます。