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超小型パッケージ 1.0 × 0.8 mm、1.2 × 1.0 mm に対応した気密検査装置です
「 MSX-7000 series 」は小型電子部品、水晶振動子、MEMS・光デバイス、各種センサなど、密封パッケージ品の気密検査装置です。 新しい機構により、初めて 1.0 × 0.8 mmサイズの検査を実現し、画像処理を用いた位置補正で搬送精度が向上しました。 ボンビング、グロス／ファインリークテストを一台で完結できます。 【特長】 ■新しい機構により、初めて 1.0 × 0.8 mmサイズの検査を実現 ■画像処理を用いた位置補正で搬送精度向上 ■グロスリーク感度を 8.5×10⁻⁸Pa・m³/s まで高精度化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全自動機、専用機、卓上タイプをラインアップ！ 小型電子部品専用気密検査装置をご紹介します
『 MS series 』は ・水晶デバイス ・セラミック発振子 ・光デバイス ・パワー半導体 ・CANデバイス ・レーザーダイオード ・コンデンサ など、気密性が求められる小型電子部品のリークテストシステムです。 密封された製品のリークテストは、製品規格や製品特性により、グロスリーク、ファインリークとその両方の検査を行うことがあります。 全行程を一台で行える全自動機や専用機（特注）、抜取り検査に便利な卓上タイプをラインアップしております。 【ラインアップ（抜粋）】 ＜全自動装置＞ ■グロスリークテストシステム ・MSZ-6200 ・MS-6086 ■ボンビング・グロス・ファインリークテストシステム ・MSX-6110 ・MSX-6200 ・MSX-7000 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ボンビングによる充填、圧力変化確認によるグロスリーク、質量分析によるファインリーク、これらが１台で完結する複合気密検査装置です。
『 MSX-0101 series 』はMEMS、水晶デバイス、SMD等の電子部品の気密検査に最適な小型電子部品専用気密検査装置です。 ヘリウム充填、グロスリークテスト、ファインリークテストを1台のシステムに完全装備。 充填時間、放置時間を管理することで、適正なグロス、ファインリークを実施することができます。 【特長】 ■MEMS、SMD等の電子部品の漏れ検査に好適 ■充填時間、放置時間を管理しながらグロス、ファインリーク量を数値化 ■グロスリークテスト、ファインリークテストを1台で対応できる ■ボンビング条件とグロスリーク条件を適切に設定することにより、高い精度のファインリーク測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型電子部品の高感度リーク試験！ウルトラファインリークまでご提案【特許技術】
『MUH-0100シリーズ』は、「カプセル蓄積法」を採用した超微小漏れ測定専用の気密検査装置です。 当社では、超微小漏れの測定技術として、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を開発。 角速度センサや赤外線イメージセンサなどのMEMS部品や小型電子部品は、長い年月にわたって製品内部の密封性を保持する必要があり、高い気密性が求められています。 【カプセル蓄積法 特長】 ■4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能 ■バックグラウンドを大幅に低減 ■超微小のヘリウムリークの検出が可能 ■誤差要因となるヘリウム以外のガスの影響を低減 ■ヒーターや極低温ポンプが不要になり、起動時間のメンテナンスが通常のヘリウムリークディテクタと同等 ■ヘリウムの蓄積量の校正には、市販の標準リークが使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
