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把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。
当社は、総合静電チャックメーカーとしてお客様のご要求に応じた製品を 提供するため様々な材質の静電チャックを開発、製造、販売しています。 ご使用される環境と製品に求められる機能を把握し、当社の開発と 設計技術により、好適な製品仕様を提案。 また、高度な製造技術を駆使した高性能、高機能な製品を提供します。 【オプション対応例】 ■ヒーター内蔵 ・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと 融合させることで、高精度の温度制御が可能 ■高温対応 ・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、～500℃の 高温環境での使用が可能 ■異常放電対策 ・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
くっつける技術、制御する技術、モニタリングする技術を開発！設計から製造まで一貫対応
クリエイティブテクノロジーは、「くっつける技術」で未来を創る会社です。 半導体製造装置の部品メーカーとして、静電チャックをはじめ、ヒーターや ウェハステージまで、設計から製造まで一貫して対応。 その技術の一部は、半導体業界だけでなく、ガラスやフィルムの搬送用途 などに応用され、FPD業界などその他の産業でも注目されています。 さまざまな可能性のある当社の技術を、どうぞ幅広くご用命ください。 【主な事業内容】 ■静電チャックおよび周辺技術の開発・製造・販売 ■その他吸着搬送機器の開発・製造・販売 ■静電チャック用電源およびセンサーの開発・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フラットパネルディスプレイ（FPD）用静電チャックの世界市場：クーロンフォア静電チャック、ジョンセンラーベック静電チャッ...
本調査レポート（Global Flat Panel Display Electrostatic Chuck Market）は、フラットパネルディスプレイ（FPD）用静電チャックのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のフラットパネルディスプレイ（FPD）用静電チャック市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。 フラットパネルディスプレイ（FPD）用静電チャック市場の種類別（By Type）のセグメントは、クーロンフォア静電チャック、ジョンセンラーベック静電チャックを対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、LCDディスプレイ、OLEDディスプレイを対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、フラットパネルディスプレイ（FPD）用静電チャックの市場規模を算出しました。 主要企業のフラットパネルディスプレイ（FPD）用静電チ...
