高分解能 静電容量センサ
高分解能 静電容量センサ
標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています!!
- 企業:翔栄システム株式会社
- 価格:応相談
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高分解能 静電容量センサ
標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています!!
ピエゾアクチュエーター、ピエゾステージなどを取り扱っています。
ピエゾアクチュエーターは、ピエゾ素子からケース内蔵アクチュエーターまで各種取り揃えております。最大ストローク270μm以上。最大発生力70000N(7000Kg)。低価格で短納期、売れ筋商品は約1週間。オプションのポジションセンサーを内蔵することでクリーピング・ヒステリシスを解消します。ピエゾステージは、多種多様な取り揃えです。最大ストロークは500μm以上。静電容量センサーを内蔵し、リニアリティエラー0.05%以下。30分で既存のAFMをクローズドループ制御にアップグレード。低価格。デジタルコントローラーにより、サーボパラメーター(P.I.D.Notch)の変更が簡単。特定の顕微鏡へ簡単に取り付け可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
シンプルプロープで、分解能0.2nmを実現しました!
シンプルプロープで分解能0.2nmを実現(レンジ・応答周波数毎に異なります)。測定対象物の材質を選びません(導体・半導体・非導体、何でも測定できます)。静電容量センサで6mmの長測定レンジを実現(Lion社でしか実現できないレンジ長です)。センサ出力の安定性を求める方にお勧めします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ※こちらのカタログは英語のカタログになります。