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静電容量センサ×翔栄システム株式会社 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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高分解能 静電容量センサ

高分解能 静電容量センサ

標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています!!

  • その他半導体製造装置
  • その他

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変位センサ Lion社 静電容量センサ

シンプルプロープで、分解能0.2nmを実現しました!

シンプルプロープで分解能0.2nmを実現(レンジ・応答周波数毎に異なります)。測定対象物の材質を選びません(導体・半導体・非導体、何でも測定できます)。静電容量センサで6mmの長測定レンジを実現(Lion社でしか実現できないレンジ長です)。センサ出力の安定性を求める方にお勧めします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ※こちらのカタログは英語のカタログになります。

  • センサ

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