非接触ハンドリングデバイス - メーカー・企業と製品の一覧

ひせっしょ君

半導体用シリコンウエハがガラスなどを非接触搬送するためのハンドリングデバイスです。

「ひせっしょ君」は半導体用シリコンウエハがガラスなどを非接触搬送するためのハンドリングデバイスです。「ひせっしょ君」の吸着部とウエハ等の搬送物は接触しておらず、その間に空気がはさまれ浮いた状態で搬送します。 「ひせっしょ君」は下記の問題を解決します。 *クロスコンタミネーション *ウエハーの破損やキズ *超薄物ウエハーの取り扱い *ウエハーの点接触保持 *ウエハーの搬送機構 *ウエハーの浮揚