【ヒカリの豆知識】光の均質化(均一化)
当コラムでは均質照射面を得る為の、3種類の光学系をご紹介します!
レーザー光源による微細加工、アニール、マスク露光用途などで、 強度分布がフラットな光(トップハット、フラットトップ)や 均質性の高い光学系(ホモジナイザー)が必要になります。 当コラムでは均質照射面を得る為の、3種類の光学系をご紹介します。 【掲載内容】 ■非球面レンズを使用した光学系 ■ロッドインテグレータを使用した光学系 ■フライアイレンズを使用した場合 ※コラムの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:夏目光学株式会社
- 価格:応相談