3次元物体形状の高速・非接触・非破壊な 光検査システム
光計測 非接触計測 光干渉 OCT(光断層撮像) 超高速光制御 高速レーザー 光周波数コム応用計測 光ファイバ応用計測
製造業の生産ラインでは、品質と信頼性を維持するために全ての製品の表面や塗装面の欠陥検出が必須である。しかし、既存の計測器では検査スピードが遅い、または振動環境に弱いなどの理由で実用化が進まない現実がある。 これらの課題を克服するために、本研究室では光を用いることで非接触かつ非破壊に3 次元形状測定を高速に行う装置の研究開発を行っている。例えば2 次元断層像を2 次元カメラにリアルタイムで映して空間をスキャンする際に、その撮像をマイクロ秒(100 万分の1 秒)で完了することで、高速に移動または振動する物体の微細な表面形状も手振れなく鮮明に捉えることが可能になる。これをシングルショット3 次元奥行断面イメージングといい、インライン全数検査への応用が可能である。 さらに、本技術を発展させると、位置・構造・層毎にスペクトル情報が得られる。つまり物体を構成する構造毎に組成や材料解析を行うこともできる。
- 企業:埼玉大学 オープンイノベーションセンター
- 価格:応相談