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駆動スピンコータ - 企業1社の製品一覧

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4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP! 4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-4axis スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ!

4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理(起動)が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。 処理する基板が小型(丸基板の場合はφ100、四角基板の場合は□70mmまで)の場合は是非ご検討下さい。 1分間の回転数を0~6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで簡単です。わかりやすいマニュアル付で納品後すぐにご利用いただけます。 ACT-220AII-4axisのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!

  • その他半導体製造装置

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