半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ
クラス100のクリーンルーム内で組立を実施！ 特別に設計された半導体用ダイアフラムポンプ
半導体用超高純度ダイアフラムポンプ「SEMIシリーズ」は、半導体製造用に特別に設計製作されています。 製品の組立はクラス100のクリーンルーム内で行っており、全ての部品を純水で洗浄し、純水にてテストを行い、最後にプラスチックフォイルに密封され出荷されます。 全ての接液部品をPTFE/TFMで製作した「SEMI T」と「SEMI H」。 接液部品がUPPE（超純度ポリエチレン）製の「SEMI E」。 SUS316L製の「SEMI S」の4タイプをご用意しております。 【特長】 ○金属を一切使用していない ○接液部にO-リングを使用していない ○駆動エア部に潤滑油は不使用 ○最高使用温度200℃ 〇異なるアプリケーションに対応する為、異なる材質で作成された4種類のポンプ 〇オプションにて、脈動吸収ダンパー、ダイアフラム破損検知、ストロークカウンター、Flareteck接手、VCR接手 ○保守修理が極めて簡単 →他の競合製品に比べて補用部品点数が40％と少なく経済的 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：サニー・トレーディング株式会社
- 価格：応相談
