【半導体向け】高低温エアシリンダ
低温～高温環境で精密駆動を実現するエアシリンダ
半導体製造業界の高低温環境下では、温度変化に強く、精密な動作が可能なエアシリンダが求められます。 特に、ウェーハ搬送やチャンバー内の精密な位置決めにおいては、エアシリンダの耐久性と正確性が、生産効率と製品品質を左右する重要な要素となります。 当社の高低温エアシリンダは、-60℃～200℃の温度範囲で使用可能で、真空環境下での精密駆動を実現します。 【活用シーン】 ・真空チャンバー内の精密位置決め ・高低温環境下での押圧制御駆動 ・ウェーハ搬送 ・高温・低温環境下での部品移動 【導入の効果】 ・高耐久性による製品寿命の向上 ・温度変化に強い安定した動作 ・精密な位置決めによる歩留まり向上
- 企業：藤倉コンポジット株式会社
- 価格：1万円 ~ 10万円
