高出力紫外線酸化装置 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

超高出力紫外線酸化装置『CXシリーズ』【電子産業・半導体産業用】

電子産業・半導体産業向けの超高出力紫外線酸化装置！ppbオーダーのTOC低減に対応！

半導体産業で使用される水は、ますます高純度化され、 超純水中の有機物(TOC)濃度に対する要求値も厳しく なっております。 『CXシリーズ』は、高出力低圧水銀ランプから発生する 真空紫外線(184.9nm)を効率よく照射し、水中の有機物を 酸化分解する超高出力紫外線酸化装置です。 ppbオーダーのTOCを低減させるのに適しています。 【特長】 ■低圧UV酸化装置 ■高出力低圧水銀ランプから発生する 　真空紫外線(184.9nm)を効率よく照射 ■水中の有機物を酸化分解 ■ppbオーダーのTOCを低減させる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。